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金属掩膜版又叫金属光罩,是制作掩膜图形的理想遮光板。金属掩模版利用光蚀刻技术,通过遮光和透光来实现曝光过程,这些图形的信息将被传递到半导体芯片上,原理类似于冲洗照片时,利用底片将影像复制至相片上。掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。